VRC社製真空計測器類の販売・修理・メンテナンスサービスは日本総代理店の株式会社ジェイビック(javich)まで
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ワイドレンジ測定型ダイアフラムマノメーター 製品スペック表
仕様項目
ピラニセンサー
測定範囲：
1mTorr〜2000mTorr
ダイアフラムセンサー
測定範囲：
2〜1500Torr
センサー仕様
プラチナ合金製ピラニセンサー
シリコン製、若しくは
316
ステンレス製
ダイアフラム
分解能、繰り返し精度
±1mTorr
±1Torr
リニアリティ
読み取り数値より
3
%
0.15
%（全計測範囲中）
計測精度
読み取り数値より
3
%、
若しくは
3mTorr
読み取り数値より
1
%、
若しくは
2Torr
反応時間
1.25
秒以下
400msec
未満
ヒステリシス
最少
2mTorr
以下
最少
2Torr
以下
標準出力
0
〜
2.000 VDC
0
〜
1.500 VDC
追加アナログ出力
上記出力に加え、
4-20 mA
と
0〜10 VDC
追加
上記出力に加え、
4-20 mA
と
0〜10 VDC
追加
最高耐圧
（校正不要限界圧）
60,000Torr
（
1,250 PSIG
）
2,300Torr
（
30 PSIG
）
温度影響
（0〜50℃雰囲気中）
50 mTorr
圧力下：
0.2mTorr
/℃
900 mTorr
圧力下：
4mTorr
/℃
±0.02%/
℃
ベークアウト耐熱温度
100
℃
セットポイント、
リレー仕様
セットポイント仕様：設定可能数：
2〜4
電気仕様：
3A@220 VAC Non-Inductive
設定箇所：フロントパネルより設定可能
リレー：
SPDT
×
2〜4
トランスデューサー
取り付け位置影響
本製品の校正は、製品取付け位置に影響を受けません
電源仕様、消費電力
95〜120V
,
50
/
60Hz
（
220V
仕様も有り）、
消費電力
5W
（リレー起動時）
電源コード
3
本線、長さ：
1.7m
、製品に装着済み
取付け形式
パネル寸法：
3.62in.W
x
4.68 in. H
（
92
x
119 mm
）、
パネルマウント用ジャックスクリュー同梱
製品寸法
製品寸法図
をご参照下さい
トランスデューサー
接続ケーブル
両側接続口付ケーブル、長さ：
3
mを同梱
オプションにてケーブル長さ延長が可能：最大延長
150m
製品重量
標準仕様モデル本体重量：約
1.8 kg
追加仕様モデル本体重量：約
2.3 kg
ディスプレイユニット 製品表
1
：標準仕様ディスプレイユニット
電源電圧
製品番号
測定単位
製品内容
220 VAC
50/60 Hz
902074
1mTorr〜1500Torr
○表示：デジタル
○セットポイント数：
2
○アナログ出力数：
2
0-1.5VDC
、
0-2 VDC
の
2
種
○外装：
1/4 DIN
○製造規格：
CSA
902075-mbar
0.001 mbar〜2000 mbar
902076-Pascal
0.1 Pa〜200kPa
115 VAC
50/60 Hz
902056
1mTorr〜1500Torr
902072
0.001 mbar〜2000 mbar
902073
0.1 Pa〜200kPa
＊
製品詳細については、上記スペック表をご参照下さい
＊
専用トランスデューサーは別売りとなります
2
：追加仕様ディスプレイユニット
製品番号
測定単位
製品内容
902081
1mTorr〜1500Torr
○表示：デジタル
○電源仕様：
115VAC,50
/
60Hz
○セットポイント数：
4
○アナログ出力数：
4
標準の
2
種に、
4-20mA
、及び
0 to 10VDC
を追加
○外装：
寸法図
を参照
○製造規格：
CSA
902127-Pascal
0.1 Pa〜200kPa
902126-mbar
0.001〜2000mbar
＊
製品詳細については、上記スペック表をご参照下さい
＊
専用トランスデューサーは別売りとなります
＊
220VAC
電源仕様をご希望の場合には、上記製品番号末尾に”
220
”と追記下さい
専用トランスデューサー フランジ種別製品表
1
：シリコンダイアフラムセンサー仕様トランスデューサー 製品表
製品番号
フランジ形式
製品内容
902058-mini
1/8 in. NPT
○外装素材：
304SS
○ピラニセンサー部：
プラチナ合金、ガラス、
304SS
○ダイアフラム：
純シリコンメタル
（センサー本体部）、
及び
304SS
902055-mini
外径
1/2 in.
チューブ型
902122-mini
外径
15mm
チューブ型
902068-mini
NW-16
フランジ
902147-mini
NW-25
フランジ
902085-mini-MAL
VCR-4
オス型
902085-mini-FEM
VCR-4
メス型
902091-mini-MAL
VCR-8
オス型
902091-mini-FEM
VCR-8
メス型
902146-mini-MAL
VCO-8
オス型
902146-mini-FEM
VCO-8
メス型
902153-mini
1.33
インチ
Conflat®
902210-mini
2.75
インチ
Conflat®
＊
製品詳細については、上記スペック表をご参照下さい
2
：ステンレス製ダイアフラムセンサー仕様トランスデューサー 製品表
製品番号
フランジ形式
製品内容
902057-mini
1/8 in. NPT
○外装素材：
304SS
○ピラニセンサー部：
プラチナ合金、ガラス、
304SS
○ダイアフラム：
316SS
（センサー部含む全て）
902052-mini
外径
1/2 in.
チューブ型
902121-mini
外径
15mm
チューブ型
902067-mini
NW-16
フランジ
902151-mini
NW-25
フランジ
902051-mini-MAL
VCR-4
オス型
902051-mini-FEM
VCR-4
メス型
902092-mini-MAL
VCR-8
オス型
902092-mini-FEM
VCR-8
メス型
902157-mini-MAL
VCO-4
オス型
902157-mini-FEM
VCO-4
メス型
902150-mini-MAL
VCO-8
オス型
902150-mini-FEM
VCO-8
メス型
902154-mini
1.33
インチ
Conflat®
902211-mini
2.75
インチ
Conflat®
＊
製品詳細については、上記スペック表をご参照下さい
ワイドレンジ測定型ダイアフラムマノメーター
｜
製品特徴
｜
スペック表
｜
対応オプション製品
｜
寸法図
｜
VRC社について
社名：Vacuum Research Corporation
所在地：米国 米国 ペンシルバニア州 ピッツバーグ市 スモールマンストリート2419番地
VRC社は、米国ペンシルバニア州ピッツバーグに本社を置く真空用設備機器のメーカー。同社の主製品は真空用装置に使用されるゲートバルブで、コントローラーによる自動開閉を可能としたThrottle Master、アルミ溶接を利用した安価なアルミ製ゲートバルブ、また、メンテナンスの容易さが特徴としてあげられる（5 minutes Rebuild System）。その他の商品として、真空ポンプ、ピラニーゲージ、ピラニーセンサー、真空用配管、配管接続用のクランプなど真空設備構築用の商品を広範にわたりカバーしている。
◆VRC社ウェブアドレス：
http://www.vacuumresearch.com/
株式会社ジェイビック
〒193-0812
八王子市諏訪町365-22
TEL：042-650-1761
FAX：042-650-1760
受付：平日9:00〜17:00
[アクセス]
八王子駅北口8番停留所
京王八王子駅2番停留所
「松枝住宅」行「松枝住宅」バス停下車 徒歩1分
(乗車時間約40分)
中央道八王子IC下車約15分
圏央道あきる野IC下車約15分
地図は
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