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| [フランジレスバルブ製作にも対応可能] |
| フランジ面間寸法を極力狭くした「フランジレスバルブ」製作にも対応が可能となります。 |
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| [バルブ材質はアルミニウム製とステンレス製から選択可能] |
| VRC社製ボンネットスタイル真空ゲートバルブは、ステンレス製と6061アルミニウム製から素材をお選び頂けます。ステンレス製、アルミニウム製に関わらず、製品表面をスムースに処理することにより、アウトガス発生率の低減と素早い減圧効果を生み出しております。 |
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| [高いコンダクタンス性能要求にも対応可能] |
| 高いコンダクタンス性能をご要望のお客様に、VRC社では「X-LPWA」シリーズをご提案させて頂いております。「X-LPWA」シリーズ真空バルブは、4インチサイズ真空バルブに6インチポート口径を持たせる等、ボディサイズに対してオーバーサイズのポート口径を持たせているシリーズとなります。寸法に関しましては、各種ポート口径種別の寸法表をご参照下さい。 |
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| [フェイルセーフ用設備としても対応可能] |
| VRC社製真空ゲートバルブは、電力供給遮断時に素早くゲートを閉状態とするフェイルセーフとして導入が可能です。電空、空圧式の各真空ゲートバルブは、電力、圧力の遮断状態においても、手動でのゲートポジション変更が可能でございます。 |
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| [長い機器寿命、高い耐久性] |
| 1サイクルを2分とした、24時間フル稼働条件下において、VRC社製ボンネットスタイル真空ゲートバルブは250,000サイクル以上の長寿命を平均寿命としています。また、オプションにてミリオンサイクルモデルもご用意可能です。 |
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| [加圧、減圧両方向に対する高いシール性] |
| VRC社製真空バルブ全製品のシール部は、減圧方向は元より、加圧方向からの圧力に対しても、そのシール性を損なうことはありません。 |
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| [ステンレス製よりも低いアウトガス発生量を誇るアルミニウム製] |
「Vacuum Technology」誌や、「Vacuum Science & Technology」誌などの研究機関雑誌におきましても、アルミニウム素材はステンレス素材と比較し、約２乗分アウトガス発生量が低いことを発表しております。
○米国研究機関雑誌「Vacuum Technology」誌から抜粋
Aluminum baked 20 hours at 100℃ 5x10-14 mbar l/sec cm2
304SS, electro polished, baked 30 hours at 250℃ 5x10-12
mbar l/sec cm2 |
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| [全製品がヘリウムリーク試験済み] |
| VRC社製真空バルブ全製品は、5x10-10 std cc/sec（約5x10-11 Pa m3/sec）以下という非常に低いリーク数値を誇っております。全製品の出荷前には、ヘリウムリーク試験を実施しております。 |
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| [RoHS規格認証済み] |
| VRC社製の真空ゲートバルブは、RoHS規格認証済みとなります（2002/95/EC Compliant）。 |
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| [モーター、電空、手動の3種のアクチュエーター] |
VRC社製の全真空ゲートバルブは、手動式、電空稼働式、モーター稼働式の3種のゲート稼働用アクチュエーター種に適応させて頂いております。手動式アクチュエーターは3種の中で最も安価なタイプとなります。空圧*1とソレノイドバルブで稼働をする電空式アクチュエーターでは、ユーザー様ご希望により、ソレノイドバルブ仕様電圧を指定可能となります*2。また、モーター式アクチュエーターでは、CEマーク認証済みの、高トルク型サーボモーターを使用しております。モーター電圧仕様は115Vか230Vから、周波数仕様に関しましても50Hz、若しくは60Hzの何れかから選択可能となります。
*1：使用圧力：4.9 kg/cm2
*2：115V（50 / 60Hz）、220V（220-240V、50Hz）、24VDCの何れかから選択となります。 |
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| [粗挽き用、ゲージ装着用追加ポート] |
ボンネットスタイル真空ゲートバルブでは、本体に指定されている6か所部位に、粗挽き用/ゲージ装着用のポートを追加可能です（オプション）*1。
*1：ポート追加箇所に関しましては、各ゲートバルブ寸法表内の寸法図面をご参照下さい（図中のR1〜R7と指定されている箇所が追加設置位置となります）。 |
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| [オプションリミットスイッチ] |
| ゲート位置を遠隔にて知らせる、真空ゲートバルブ用リミットスイッチをオプションにてご用意しております。リミットスイッチ種に関しましては、お問い合わせ下さい。 |
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VRC社製ボンネットスタイル真空ゲートバルブは、駆動部の取り外しに特殊工具、技術などは必要とせず、誰でも簡単に駆動部の取り外しが可能です（取り外し所要時間：約5分）。 |
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