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ヘリウムリークディテクターとは |
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ヘリウムリークディテクターとは、ヘリウムガスを感知し、その感知したヘリウムガスの量を表示する装置です。ヘリウムガスは、原子記号の中で２番目に軽く小さい原子であり、且つ空気中に含まれる含有量が非常に少なく、漏れ検査時に誤反応をする可能性が低いと言う、トレーサーガス（検査用ガス）として非常に優秀な特徴を揃えています。
この特性を利用し、密封容器型製品（エンジン、タンク、食品用包装材、燃料電池、航空機用計器、半導体、医療器具等）の生産時に必要な漏れ（リーク：Leak）検査を、純度の高いヘリウムガスを利用して行うことがヘリウムリークディテクターの主目的となります。 |
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ヘリウム試験方法 |
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※以下：文章内ではヘリウムリークディテクターを装置と言います。
一般的には、下記の3種の方法により、ヘリウムリーク試験は実施されます。 |
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1) ボンビング法
ヘリウムガスで内部に圧力を掛けた（ヘリウムで内部を満たした）試験体を専用チャンバー内にセットし、チャンバー内を減圧（真空状態）、漏れ出たヘリウムガスを装置内に取込み、計測する方法。内部を減圧するための引き込み口が無い試験体、非常にサイズの小さい試験体などに使わる試験方法です。
2) スプレー法
試験体内部を装置により真空状態（減圧）にし、その試験体にスプレーガン等でヘリウムガスを吹きかけ、漏れ箇所から引き込まれたヘリウムガスを測定する方法。テストポートに直接装着できる試験体、大型の試験体などに使用される試験方法となります。
3) スニファー法
試験体内部にヘリウムガスで圧力を掛け、そこから漏れ出てくるヘリウムガスをスニファープローブ（ヘリウム吸い取り用器具）により吸い出し、測定する方法。上記2点の試験方法と違い、大気中での試験となる為、検査可能な最小リーク値は低くなります（高精度試験には不向き：10-9
Pa m3/secが弊社製品では限界）。漏れ箇所の特定を主に行う試験などに使用されます。
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ヘリウムリーク試験の流れ (例：スプレー法) |
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| ･ヘリウムリーク試験の基本的な流れをご説明します |
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| 1) |
試験体をヘリウムリークディテクターのテストポート（装置上部）に取り付けます（この際に治具などが必要になる場合があります）。 |
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| 2) |
ヘリウムリークディテクターを起動します。 |
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| 3) |
起動後、テストポートに装着された試験体内の減圧が開始されます。 |
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| 4) |
試験体内の圧力が一定値まで減圧された後、リーク試験が開始されます。 |
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| 5) |
ヘリウムガスを試験体に振りかけます。 |
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| 6) |
漏れ箇所から入り込んだヘリウムガスが質量分析官により感知され、漏れ量が表示されます。 |
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| 7) |
試験終了 |
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※ 3)〜6)の内、4)のみ作業者による手作業となります。
※ 上記試験の流れはごく基本的な流れになります。 |
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ヘリウムリークディテクターを構成する主なパーツ |
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| ヘリウムリークディテクターを知る上で押えておきたいパーツ知識を下記にご紹介します。 |
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| 質量分析管 (マススペクトロメーター) |
| 質量分析管はヘリウムリークディテクターの心臓部とも言える重要なパーツになります。このパーツの役割としては、装置内に入ってきたヘリウムガスを、分析管に装着されたマグネットによりイオン化し、コレクターと呼ばれる部位により電気信号として読み取ります。電気信号として読み込まれたヘリウムガスは、装置のコンピューターにより数値化され、漏れ量として表示されます。 |
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| 高分子ターボポンプ |
| ヘリウムリークディテクターだけでなく、あらゆる真空設備に用いられるパーツです。ヘリウムガスを質量分析管に引き込むために必要な高真空部（極度的に圧力の低い部位）を装置内に作り出す役目を持ちます。 |
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| 油回転ロータリーポンプ |
| チャンバー内や、ワーク内をテストポート通じ、減圧する役目を持ちます。上記の高分子ターボポンプと同様、あらゆる真空設備に用いられるパーツです。油を使用しないドライ型のロータリーポンプを使用したヘリウムリークディテクターも存在します。 |
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| テストポート |
| ヘリウムリークディテクター上部にある、試験体のつなぎ込み口です。冶具やチャンバーなどの装着により、多種多様な試験に対応します。 |
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ヘリウムリークディテクターで使用される表示単位 |
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| ･ヘリウムリークディテクターが使用する表示単位は下記の流量単位となり、毎秒何個の原子・分子（ヘリウム）が通過するかを表した単位となります。 |
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1) Pa m3/sec（パスカル立米毎秒）
日本国内で、リークテストの際に最も使用される流量単位になります。VIC社製ヘリウムリークディテクターも米国製ではありますが、機種により対応しています（MS-40はPa
m3/secに対応していません）。単位換算としては、2) のatm cc/secから−１乗した数値になります。
（例：2.0×10-4 atm cc/sec → 2.0×10-5 Pa m3/sec）
2) atm cc/sec（アトムシーシー毎秒）
米国内で主に使用される流量単位です。日本国内でも使用されています。VIC社製ヘリウムリークディテクターの全機種がこの単位に対応しています。1)
への換算は、1) に表記した換算方法の逆算を行います。
3) mbar l/sec(ミリバール毎秒)
米国内で使用される流量単位です。VIC社製ヘリウムリークディテクターの全機種が対応しています。 |
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VIC社製ヘリウムリークディテクターの特徴（全機種共通） |
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| VIC社製ヘリウムリークディテクターは、ヘリウムリークディテクターを世界で始めて開発した米国企業Veeco社の流れを汲み、その長い歴史で培われた技術を惜しみなく投入されています。 |
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| [ 高いメンテナンス性 ] |
| VIC社製品の特徴としてまず挙げられるのが、その高いメンテナンス性です。長く使用している現場では、20年〜30年以上使用している現場もあり、メンテナンス次第では非常に長持ちする検査機であることが証明されています。また、弊社テクニカルサポートグループによるメンテナンス講習も実施しております。 |
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| [ 二重磁場偏向型を採用した質量分析管（マススペクトロメーター）の搭載
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| マグネットを通常の一つではなく、二つ実装した質量分析官の使用により、ヘリウムガスイオン化の際に発生するノイズを高効率に除去いたします。この技術の搭載により、従来に比べ、レベルの高い検査精度を確保しております。 |
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| [ 装置の待機状態（以下：バックグラウンド状態）からの立ち上がり時間の早さ
] |
| 生産ラインの一時停止と言う緊急事態時において、素早い装置の復帰は必須事項であるため、バックグラウンド状態からの立ち上がりの早さというのは非常に大きなメリットを生産現場にもたらすことが出来ます。 |
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| 上記3つの特徴を備えているVIC社製ヘリウムリークディテクターは、世界でも最も信頼性の高いヘリウムリークディテクターの一つとして数えられる物であり、現在の高品質が当たり前となった時代においては必須の装置と言えます。 |
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ヘリウムリークディテクターを使用する産業（全機種共通） |
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1) 自動車産業
主に検査を行う部品としては、エンジンブロック、ガソリンタンク、各種配管、アルミホイール、電装系、ヘッドライト等
2) 医療機器産業
カテーテル、血液パック、チューブ、計器類等
3) 半導体産業
半導体自体、半導体製造用のエッチング装置
4) 電気部品産業
電気部品用ケース、セラミックケース等
5) 医療機器産業
カテーテル、血液パック、チューブ、計器類等
6) 包装材メーカー
食品用包装材、医薬品包装材等 |
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| 株式会社ジェイビック |
| 〒193-0812 |
| 八王子市諏訪町365-22 |
| TEL：042-650-1761 |
| FAX：042-650-1760 |
| 受付：平日9:00〜17:00 |
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| [アクセス] |
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八王子駅北口8番停留所
京王八王子駅2番停留所
「松枝住宅」行「松枝住宅」バス停下車 徒歩1分
(乗車時間約40分) |
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中央道八王子IC下車約15分
圏央道あきる野IC下車約15分 |
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