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株式会社ジェイビック

VRC社製真空計測器類の販売・修理・メンテナンスサービスは日本総代理店の株式会社ジェイビック(javich)まで

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ワイドレンジ測定型ダイアフラムマノメーター

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ワイドレンジ測定型ダイアフラムマノメーター 計測範囲:1mTorr1500Torr0.1 Pa200kPa
ディスプレイユニットとトランスデューサーは別売りとなります
ご紹介製品のご使用には、トランスデューサーと、ディスプレイユニットの両方が必要となります
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[製品特徴]
・測定範囲は1mTorr1500Torrの広範囲をカバー(ダイアフラムとピラニーの併用)
・測定ガス種に関わらず、21500Torrの範囲でリニア計測が可能
・測定単位は、0.0012000 mbar0.1 Pa200kPaにも変換可能(無償対応)
・最大4つのセットポイントを設定可能
02 VDC01.5 VDC出力(標準)に加え、010 VDC4-20 mAアナログ出力も追加可能(オプション仕様モデル)。
・コンピューターインターフェイスに対応可能な、リニアアナログ出力
・表示は見やすい大型緑色LEDディスプレイ
・ダイアフラムはシリコン製、ステンレス製から選択可能
・製品取付けは、パネルマウント、ベンチの両方式から選択可能
21500Torr計測時の反応速度は400msec以下
12000mTorr計測時の反応速度は1.25秒以下
・製品使用に必要なケーブル類、マウント類は全て同梱
・最大250 Feetまでケーブルの延長が可能
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[製品紹介]
◆素早い反応速度
VRC社製ワイドレンジ測定型ダイアフラムマノメーターは、2〜1500Torrの計測範囲に、高精度でありながら、ガス構成の影響を受けない計測を可能とする、高速反応ダイアフラムセンサーを使用し、1mTorr〜2000mTorr2Torr)の計測範囲ではダイアフラムセンサーと隣り合わせに配置された、高耐久性ピラニセンサーによる計測に切り替わります。ピラニセンサーとダイアフラムセンサーは同じトランスデューサー筐体内に配置され、ダイアフラムセンサーにおいては、フィールドでの交換が容易な仕様となっております。
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◆取付け向きの影響を受けないセンサー精度
トランスデューサー外装は、ステンレス製ブロックからの削り出しとなり、高い耐久性を誇ります。また、コンベクションゲージの様に取付け向きによるセンサー精度への影響や、ガス構成からの精度影響は受けません。
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◆プロセス制御に適した、最大4つのセットポイント設定
本製品標準での、プロセス制御用セットポイント設定可能数は2つまでとなりますが、オプション仕様とすることにより、4つまでのセットポイント設定が可能となります。各セットポイントは、製品フロントパネル上からの設定が可能。また、各セットポイント用のLEDインジケーターを装備し、確認が容易です。セットポイント設定は製品計測範囲内であれば、どのポイントでも設定が可能です。リレーは各セットポイントが持ち、接点仕様は3 amps @ 220V, non-inductiveとなります(スペック表参照)。
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◆バラエティに富んだ出力仕様
本製品標準仕様では、0 to 2VDC0 to 1.5VDC出力を装備。オプション仕様では、プログラム可能な0 to 10VDC4-20mAのアナログ出力が標準仕様に追加されます。
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TorrmillibarPascalの各種計測単位に対応
VRC社製ワイドレンジ測定型ダイアフラムマノメーターでは、TorrmTorr計測単位直読を標準としていますが、 .001 to 2000millibar0.100Pa to 200kPaまでの計測範囲・単位にも、無償にて変換対応を致します。
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[製品使用例]
1:結晶育成
大多数の真空プロセスがそうであるように、結晶育成では、従来1つ以上の圧力計測器が必要となる、2段式の圧力制御を行います。まず、10から15mTorr1から2Pascal)までの残留酸素や水分の排気を、ロータリー真空ポンプを使用して行います。その後、プロセス容器中に約200Torr2500Pa)圧力のアルゴンガスを導入します。VRC社製ワイドレンジ測定型ダイアフラムマノメーターは結晶育成の様に、測定精度を必要とする繰り返し計測を、広い圧力範囲で実施するプロセスに対し、1つの計測器でカバーできる製品となります。
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2:照明製品の製作工程
照明製品(ランプ等)の製作工程への使用にも、本製品は適用致します。照明製品等の製作工程では、メカニカルブースターポンプ等を使用し、大気圧から5mTorr1Pa)以下まで減圧を行い、その後、アルゴンやネオン、またはクリプトン等のガス導入時圧力を、600Torr80,000Pa)まで測定する必要があります。広い範囲でありながら、精度の高い圧力計測を要求される本工程において、本製品は最適な能力を有しております。
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3L.P.C.V.D
L.P.C.V.Dは低真空減圧ラインによる、プロセス容器内の減圧を20mTorr2Pa)以下まで行い、その後、プロセス内のリークを確認した後に、混合ガス導入を210Torr2001200Pa)の間で実施します。上記の様なL.P.C.V.Dの減圧プロセスにも、本製品は1台で十分に対応が可能です。
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■製品スペック表はこちらから
■対応オプション製品はこちらから
■製品寸法表はこちらから
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VRC社について

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社名:Vacuum Research Corporation
所在地:米国 米国 ペンシルバニア州 ピッツバーグ市 スモールマンストリート2419番地
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VRC社は、米国ペンシルバニア州ピッツバーグに本社を置く真空用設備機器のメーカー。同社の主製品は真空用装置に使用されるゲートバルブで、コントローラーによる自動開閉を可能としたThrottle Master、アルミ溶接を利用した安価なアルミ製ゲートバルブ、また、メンテナンスの容易さが特徴としてあげられる(5 minutes Rebuild System)。その他の商品として、真空ポンプ、ピラニーゲージ、ピラニーセンサー、真空用配管、配管接続用のクランプなど真空設備構築用の商品を広範にわたりカバーしている。
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◆VRC社ウェブアドレス:http://www.vacuumresearch.com/
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お問い合わせ イメージ
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株式会社ジェイビック
〒193-0812
八王子市諏訪町365-22
TEL:042-650-1761
FAX:042-650-1760
受付:平日9:00〜17:00
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[アクセス]
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八王子駅北口8番停留所
京王八王子駅2番停留所
「松枝住宅」行「松枝住宅」バス停下車 徒歩1分
(乗車時間約40分)
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中央道八王子IC下車約15分
圏央道あきる野IC下車約15分
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