*
株式会社ジェイビック

VRC社製真空ゲートバルブの販売・修理・メンテナンスサービスは日本総代理店の株式会社ジェイビック(javich)まで

*
*トップページ取扱い製品一覧サービス一覧リーク試験機について会社概要お問い合わせ*
*

スロットルマスター真空ゲートバルブ

*
製品特徴:
1) バルブ本体は、アルミ製とステンレス製から選択可能
2) 減圧側、正圧側両方に対応可能
3) 2インチ〜24インチまでのANSIサイズを用意
4) 63mm〜630mmまでのISOサイズを用意
5) 手動制御、クローズドループ制御に対応
6) RoHS 2002/95/EC認証済み
*
製品概要:
VRC社製スロットルマスター真空ゲートバルブはポジショナーを標準装備とし、下記2点の使用方法に対応致します。
1) マスフローコントローラーとの併用による、上流側圧力制御として。
2) ゲート位置調整による、下流側圧力制御として。
*
1) マスフローコントローラーとの併用による、上流側圧力制御として:
マスフローコントローラーにて圧力調整を試みる部位での3ポジションバルブとして最適な組み合わせとなります。必要な機器は、スロットルマスター真空ゲートバルブ本体と、サーボモーター駆動用ポジショナーの2点のみとなります。
*
3ポジション、上流側制御略図(英文)
3ポジション、上流側制御略図(英文)
*
2) ゲート位置調整による下流側圧力制御として:
スロットルマスターは、チャンバー内に供給されるガス流量が不変である箇所の下流側圧力制御と、ポンプシステムのコンダクタンス制御にも使用が可能です。この制御には、ゲートバルブ駆動信号を発信するPID圧力コントローラーと、0-10VDC出力型の真空ゲージが必要となります。
*
PIDクローズドループ下流制御略図(英文)
PIDクローズドループ下流制御略図(英文)
*
[スロットルマスター寸法]
下図寸法図では以下について記述をされております。
C Throttle寸法:下図内参照
E Throttle寸法:下図内参照
その他寸法に関しましては、Bonnet Style ANSIポートサイズバルブ寸法図、若しくはBonnet Style ISOポートサイズバルブ寸法図をご参照下さい。
スロットルマスター寸法
*
[スロットルマスター真空ゲートバルブ本体表]
ステンレス製スロットルマスター寸法別対応製品表
ポートサイズ フランジ形式 製品番号
 25mm NW-25 STM-25
 40mm NW-40 STM-40
 50mm NW-50 STM-50
 63mm ISO-f 63mm STM-63
 80mm ISO-f 80mm STM-80
 100mm ISO-f 100mm STM-100
 160mm ISO-f 160mm STM-160
 200mm ISO-f 200mm STM-200
 250mm ISO-f 250mm STM-250
 400mm ISO-f 400mm STM-400
 500mm ISO-f 500mm STM-500
 3 5/8インチ ANSI 2インチ STM-2
 4インチ ANSI 3インチ STM-3
 6インチ ANSI 4インチ STM-4
 8インチ ANSI 6インチ STM-6
 10インチ ANSI 8インチ STM-8
 12インチ ANSI 10インチ STM-10
 16インチ ANSI 16インチ STM-16
 20インチ ANSI 20インチ STM-20
*
アルミニウム製スロットルマスター寸法別対応製品表
ポートサイズ フランジ形式 製品番号
 25mm NW-25 ATM-25
 40mm NW-40 ATM-40
 50mm NW-50 ATM-50
 63mm ISO-f 63mm ATM-63
 80mm ISO-f 80mm ATM-80
 100mm ISO-f 100mm ATM-100
 160mm ISO-f 160mm ATM-160
 200mm ISO-f 200mm ATM-200
 250mm ISO-f 250mm ATM-250
 320mm ISO-f 320mm ATM-320
 400mm ISO-f 400mm ATM-400
 500mm ISO-f 500mm ATM-500
 630mm ISO-f 630mm ATM-630
 3 5/8インチ ANSI 2インチ ATM-2
 4インチ ANSI 3インチ ATM-3
 6インチ ANSI 4インチ ATM-4
 8インチ ANSI 6インチ ATM-6
 10インチ ANSI 8インチ ATM-8
 12インチ ANSI 10インチ ATM-10
 12インチ ANSI 12インチ ATM-12
 16インチ ANSI 16インチ ATM-16
 20インチ ANSI 20インチ ATM-20
 24インチ ANSI 24インチ ATM-24
*
[スロットルマスター用オプション紹介]
1) バルブモーター電圧変更  
通常のモーター電圧仕様は、115V, 60Hz, 300Wとなりますが、これを220-240V, 50Hzに変更することが可能です。追加料金は掛かりません。
*
2) バイトン、カルレッツO-リング仕様  
スロットルマスター真空ゲートバルブはBuna-N製のOリングをゲートシール部以外のシール部に使用しております(ゲートシール部は通常でバイトン)。VRC社製バルブでは、各部のOリングをバイトン製、またはカルレッツ製に変更することが可能です。発注時に、製品番号に”V”(バイトン)、若しくは”K”(カルレッツ)と表記下さい。
*
3) スペアバルブポジショナー:P/N X801403  
スロットルマスターにはバルブポジショナーが標準で同梱されておりますが、スペアが必要な場合には、単体での購入が可能でございます。
*
4) オプションハンドヘルドコントロール:P/N 801404  
ゲートオープン、クローズ、スロットルの3種のセレクトスイッチと、99.9%(表示精度:±1%)までを表示するインジケーター、及びバルブ同梱ポジショナーと接続される10ft.ケーブルが同梱となります。
機器寸法サイズ:約3インチ x 2インチ。
*
5) バルブ、ポジショナー接続用ケーブル(延長オプション)  
通常、スロットルバルブには25 ft.(約7m)の接続用ケーブルが同梱されておりますが、更に長いケーブルが必要な場合には、最長500 ft.(約150m)までのケーブル延長が可能です。ケーブル延長をご希望の場合には、発注時の製品番号末尾に、希望延長寸法をご記入下さい。
上記オプションは、単体販売に対応しておりません。
**
VRC社製真空ゲートバルブのご案内に戻る

VRC社について

*
社名:Vacuum Research Corporation
所在地:米国 米国 ペンシルバニア州 ピッツバーグ市 スモールマンストリート2419番地
*
VRC社は、米国ペンシルバニア州ピッツバーグに本社を置く真空用設備機器のメーカー。同社の主製品は真空用装置に使用されるゲートバルブで、コントローラーによる自動開閉を可能としたThrottle Master、アルミ溶接を利用した安価なアルミ製ゲートバルブ、また、メンテナンスの容易さが特徴としてあげられる(5 minutes Rebuild System)。その他の商品として、真空ポンプ、ピラニーゲージ、ピラニーセンサー、真空用配管、配管接続用のクランプなど真空設備構築用の商品を広範にわたりカバーしている。
*
◆VRC社ウェブアドレス:http://www.vacuumresearch.com/
*
*
*
株式会社ジェイビック
*
お問い合わせ イメージ
*
株式会社ジェイビック
〒193-0812
八王子市諏訪町365-22
TEL:042-650-1761
FAX:042-650-1760
受付:平日9:00〜17:00
*
[アクセス]
*
八王子駅北口8番停留所
京王八王子駅2番停留所
「松枝住宅」行「松枝住宅」バス停下車 徒歩1分
(乗車時間約40分)
*
中央道八王子IC下車約15分
圏央道あきる野IC下車約15分
*
地図はこちらから
お問い合わせはこちらから
*
*
*
株式会社ジェイビック 〒193-0812 東京都八王子市諏訪町365-22 TEL:042-650-1761
© Copyright 2010- "Javich .co.,ltd." All Rights Reserved.
*