製品特徴：
1) バルブ本体は、アルミ製とステンレス製から選択可能
2) 減圧側、正圧側両方に対応可能
3) 2インチ〜24インチまでのANSIサイズを用意
4) 63mm〜630mmまでのISOサイズを用意
5) 手動制御、クローズドループ制御に対応
6) RoHS 2002/95/EC認証済み |
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製品概要：
VRC社製スロットルマスター真空ゲートバルブはポジショナーを標準装備とし、下記2点の使用方法に対応致します。
1) マスフローコントローラーとの併用による、上流側圧力制御として。
2) ゲート位置調整による、下流側圧力制御として。 |
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| 1) マスフローコントローラーとの併用による、上流側圧力制御として： |
| マスフローコントローラーにて圧力調整を試みる部位での3ポジションバルブとして最適な組み合わせとなります。必要な機器は、スロットルマスター真空ゲートバルブ本体と、サーボモーター駆動用ポジショナーの2点のみとなります。 |
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| 3ポジション、上流側制御略図（英文） |
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| 2) ゲート位置調整による下流側圧力制御として： |
| スロットルマスターは、チャンバー内に供給されるガス流量が不変である箇所の下流側圧力制御と、ポンプシステムのコンダクタンス制御にも使用が可能です。この制御には、ゲートバルブ駆動信号を発信するPID圧力コントローラーと、0-10VDC出力型の真空ゲージが必要となります。 |
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| PIDクローズドループ下流制御略図（英文） |
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| [スロットルマスター寸法] |
＊下図寸法図では以下について記述をされております。
C Throttle寸法：下図内参照
E Throttle寸法：下図内参照
＊その他寸法に関しましては、Bonnet
Style ANSIポートサイズバルブ寸法図、若しくはBonnet Style ISOポートサイズバルブ寸法図をご参照下さい。 |
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| [スロットルマスター真空ゲートバルブ本体表] |
| ステンレス製スロットルマスター寸法別対応製品表 |
| ポートサイズ |
フランジ形式 |
製品番号 |
| 25mm |
NW-25 |
STM-25 |
| 40mm |
NW-40 |
STM-40 |
| 50mm |
NW-50 |
STM-50 |
| 63mm |
ISO-f 63mm |
STM-63 |
| 80mm |
ISO-f 80mm |
STM-80 |
| 100mm |
ISO-f 100mm |
STM-100 |
| 160mm |
ISO-f 160mm |
STM-160 |
| 200mm |
ISO-f 200mm |
STM-200 |
| 250mm |
ISO-f 250mm |
STM-250 |
| 400mm |
ISO-f 400mm |
STM-400 |
| 500mm |
ISO-f 500mm |
STM-500 |
| 3 5/8インチ |
ANSI 2インチ |
STM-2 |
| 4インチ |
ANSI 3インチ |
STM-3 |
| 6インチ |
ANSI 4インチ |
STM-4 |
| 8インチ |
ANSI 6インチ |
STM-6 |
| 10インチ |
ANSI 8インチ |
STM-8 |
| 12インチ |
ANSI 10インチ |
STM-10 |
| 16インチ |
ANSI 16インチ |
STM-16 |
| 20インチ |
ANSI 20インチ |
STM-20 |
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| アルミニウム製スロットルマスター寸法別対応製品表 |
| ポートサイズ |
フランジ形式 |
製品番号 |
| 25mm |
NW-25 |
ATM-25 |
| 40mm |
NW-40 |
ATM-40 |
| 50mm |
NW-50 |
ATM-50 |
| 63mm |
ISO-f 63mm |
ATM-63 |
| 80mm |
ISO-f 80mm |
ATM-80 |
| 100mm |
ISO-f 100mm |
ATM-100 |
| 160mm |
ISO-f 160mm |
ATM-160 |
| 200mm |
ISO-f 200mm |
ATM-200 |
| 250mm |
ISO-f 250mm |
ATM-250 |
| 320mm |
ISO-f 320mm |
ATM-320 |
| 400mm |
ISO-f 400mm |
ATM-400 |
| 500mm |
ISO-f 500mm |
ATM-500 |
| 630mm |
ISO-f 630mm |
ATM-630 |
| 3 5/8インチ |
ANSI 2インチ |
ATM-2 |
| 4インチ |
ANSI 3インチ |
ATM-3 |
| 6インチ |
ANSI 4インチ |
ATM-4 |
| 8インチ |
ANSI 6インチ |
ATM-6 |
| 10インチ |
ANSI 8インチ |
ATM-8 |
| 12インチ |
ANSI 10インチ |
ATM-10 |
| 12インチ |
ANSI 12インチ |
ATM-12 |
| 16インチ |
ANSI 16インチ |
ATM-16 |
| 20インチ |
ANSI 20インチ |
ATM-20 |
| 24インチ |
ANSI 24インチ |
ATM-24 |
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| [スロットルマスター用オプション紹介] |
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| 通常のモーター電圧仕様は、115V, 60Hz, 300Wとなりますが、これを220-240V, 50Hzに変更することが可能です。追加料金は掛かりません。 |
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| スロットルマスター真空ゲートバルブはBuna-N製のOリングをゲートシール部以外のシール部に使用しております（ゲートシール部は通常でバイトン）。VRC社製バルブでは、各部のOリングをバイトン製、またはカルレッツ製に変更することが可能です。発注時に、製品番号に”V”（バイトン）、若しくは”K”（カルレッツ）と表記下さい。 |
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| 3) スペアバルブポジショナー：P/N X801403 |
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| スロットルマスターにはバルブポジショナーが標準で同梱されておりますが、スペアが必要な場合には、単体での購入が可能でございます。 |
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| 4) オプションハンドヘルドコントロール：P/N 801404 |
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| ゲートオープン、クローズ、スロットルの3種のセレクトスイッチと、99.9%（表示精度：±1%）までを表示するインジケーター、及びバルブ同梱ポジショナーと接続される10ft.ケーブルが同梱となります。 |
| 機器寸法サイズ：約3インチ x 2インチ。 |
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| 5) バルブ、ポジショナー接続用ケーブル（延長オプション） |
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| 通常、スロットルバルブには25 ft.（約7m）の接続用ケーブルが同梱されておりますが、更に長いケーブルが必要な場合には、最長500
ft.（約150m）までのケーブル延長が可能です。ケーブル延長をご希望の場合には、発注時の製品番号末尾に、希望延長寸法をご記入下さい。 |
| ＊上記オプションは、単体販売に対応しておりません。 |
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