| 仕様項目 |
仕様数値/内容 |
| 標準計測範囲 |
0.05（50mTorr）〜1000Torr |
オプション計測範囲
|
0.07〜1300mbar
7 Pa〜133.0kPa |
| 計測性能 |
○50mTorr〜30.0Torr
計測範囲中：
分解能：±10mTorr
精度：±20mTorr
感度：10mTorr
ヒステリシス：10mTorr以下
○30.0Torr〜1000Torr
計測範囲中：
分解能：±0.1Torr
精度：±1Torr
感度：0.1Torr
ヒステリシス：0.1Torr以下 |
| 製品校正 |
気体、液体、真空センサーとの比較校正 |
| 表示方式 |
緑色LED（4文字表示）
文字サイズ：高さ0.56インチ（15
mm） |
| 反応時間 |
○圧力上昇時：
全計測範囲において1秒以下
○減圧時：
大気〜1Torr： 〜1.5秒
大気〜200mTorr： 〜10秒
大気〜50mTorr： 〜90秒
10Torr〜10mTorr： 〜0.5秒 |
温度影響
＊0〜50℃温度中変化率 |
±0.02%
/ ℃以下 |
| ベークアウト耐熱温度 |
100℃（大気中、真空中） |
| 最高耐圧 |
1000Torr
＊数値以上の圧力はセンサーを破損させます |
アナログ出力
＊2種の出力方式が同梱となります |
○0〜10 VDC：リニア計測
0〜1000Torr（1
mV=100mTorr）
○4-20 mA：4 mAは圧力”0”にて固定。
20 mAは出荷時1000Torrに設定、
ジャンパーセレクトにより10、50、100、
200、及び1000Torrに変更可能 |
| 製品素材 |
ダイアフラム部：316Lステンレス
真空系接地部：300系ステンレス |
オプションセットポイント
＊コントローラーモデルのみ
|
仕様：SPDT（Form
C）
最大電流：250 mA
最大電力：350 mw
最大電圧：250V AC/DC |
セットポイント範囲
＊コントローラーモデルのみ
|
全計測範囲でのセットが可能
（50mTorr〜1000Torr） |
| 要求電源仕様 |
動作電圧：＋15〜＋35
VDCの全範囲
電流値規制：250 mA以下 |
| 消費電力 |
インジケーター：1W以下
コントローラー：2W |
| 本体重量 |
0.34 kg |
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| ゲージチューブ一体型ダイアフラムマノメーター 製品表 |
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| 1：トランスミッターモデル フランジ種別製品表 |
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| 製品番号 |
製品内容 |
フランジ形式 |
| 902368 |
○LED計測数値表示：無
○アナログ出力：2種
○セットポイント数：0
○ダイアフラム：316L
○電源：+15 to +35VDC |
1/8 NPT |
| 902356 |
1/2” O.D ステム |
| 902344 |
NW-16フランジ |
| 902357 |
NW-25フランジ |
| 902347 |
VCR-4メス型 |
| 902358 |
VCR-6メス型 |
| 902359 |
VCR-8メス型 |
| 902360 |
1.33インチConflat® |
| 902361 |
2.75インチConflat® |
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|
| ＊製品詳細については、上記スペック表をご参照下さい |
|
| 2：インジケーターモデル フランジ種別製品表 |
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| 製品番号 |
製品内容 |
フランジ形式 |
| 902369 |
○LED計測数値表示：有
○アナログ出力：2種
○セットポイント設定可能数：0
○ダイアフラム：316L
○電源：+15 to +35VDC |
1/8 NPT |
| 902350 |
1/2” O.D ステム |
| 902345 |
NW-16フランジ |
| 902351 |
NW-25フランジ |
| 902348 |
VCR-4メス型 |
| 902352 |
VCR-6メス型 |
| 902353 |
VCR-8メス型 |
| 902354 |
1.33インチConflat® |
| 902355 |
2.75インチConflat® |
|
|
| ＊製品詳細については、上記スペック表をご参照下さい |
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| 3：コントローラーモデル フランジ種別製品表 |
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| 製品番号 |
製品内容 |
フランジ形式 |
| 902370 |
○LED計測数値表示：有
○アナログ出力：2種
○セットポイント設定可能数：2
○ダイアフラム：316L
○電源：+15 to +35VDC |
1/8 NPT |
| 902362 |
1/2” O.D ステム |
| 902346 |
NW-16フランジ |
| 902363 |
NW-25フランジ |
| 902349 |
VCR-4メス型 |
| 902364 |
VCR-6メス型 |
| 902365 |
VCR-8メス型 |
| 902366 |
1.33インチConflat® |
| 902367 |
2.75インチConflat® |
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|
| ＊製品詳細については、上記スペック表をご参照下さい |
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ゲージチューブ一体型ダイアフラムマノメーター
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