仕様項目 |
仕様数値/内容 |
標準計測範囲 |
1〜1500Torr |
分解能 *オプションは下記製品表を参照
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±1Torr(標準)
±0.1Torr(オプション) |
計測精度 |
表示数値より誤差±1%、若しくは±2Torr |
反応時間 |
400 msec.以下 |
リニアリティ |
±0.15%(全計測範囲中) |
感度 |
±0.1Torr |
アナログ出力仕様 *2ピンコネクター同梱
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標準:0〜1.500
VDC 1/4 DIN外装仕様専用オプション:
4-20 mA、0〜10 VDCを標準出力に追加 |
製品素材 |
真空系プロセス部に接地するバーツは316L、304ステンレス製、若しくはシリコン製 |
セットポイント範囲 *コントローラーのみ |
1 to 1500Torr |
セットポイント繰り返し精度 |
±2Torr |
ダイアフラムセンサー内容積 |
ステンレス製ダイアフラムモデル:1.25ml
シリコン製ダイアフラムモデル:0.5ml |
電源仕様 *オプション電圧への変更は無償対応
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115 VAC、50/60
Hz(標準) 230
VAC(オプション) |
供給電源と測定精度について |
測定誤差:±1%以下
(供給電源の電圧変化が、±20%以下の場合) |
消費電力 |
インジケーター:1W以下
コントローラー:2W |
温度影響 *0〜50℃温度範囲での変化率となります
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変化率:±0.02%/℃ |
ベークアウト時耐熱温度 |
最高100℃(大気中、及び真空中条件下) |
1/4
DIN Enclosure 仕様寸法 *製品寸法表もご参照下さい
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92x92mm(パネル寸法)
122mm(前後長さ) |
円筒型外装 仕様寸法 *製品寸法表もご参照下さい
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2.75インチ(パネル寸法)
4.8インチ(前後長さ) |
マウント形式 |
標準:パネルマウント
オプション:ハンドル付キャビネット、ベンチマウント |
ダイアフラム接続用ケーブル仕様
*延長時の再校正不要
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標準仕様:長さ10ft.(約3m)製品に同梱
オプション最大延長:500ft.(約150m)まで |
電源ケーブル仕様 |
3ワイヤー、製品に添付済み
長さ:65インチ(約170cm) |
本体重量 |
インジケーター:約0.5
kg
コントローラー:約0.6 kg |